特征
作为santec的HSL系列的畅销产品HSL-2100是由多边形扫描仪构成。该光源的特征是高重复性和线性，不需要K-触发器就可获取数据，因此可以简单构成整个系统。进而实现了作为SS-OCT系统的高可靠性和低成本，广泛用于工业领域的在线检查。
主要性能
- 中心波长：1310nm
- 最大输出功率：>20mW
- 扫描速度：20kHz
- 扫描范围：≥170nm
- 相干长度：≥6mm
主要应用
- 高精度在线检查
- 硅片厚度、形状测量
- 高分辨率成像
- 低成本SS-OCT
作为santec的HSL系列的畅销产品HSL-2100是由多边形扫描仪构成。该光源的特征是高重复性和线性，不需要K-触发器就可获取数据，因此可以简单构成整个系统。进而实现了作为SS-OCT系统的高可靠性和低成本，广泛用于工业领域的在线检查。
