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  • IVS-2000-ST

スタンダードモデル

  • 中心波長: 1310 nm
  • A-lineレート: 20 kHz
  • 高軸方向分解能: < 18 μm (空気中)
IVS 2000 LC ST

製品紹介

IVS-2000-ST は、高い繰り返し精度を持つ中心波長 1310 nm帯のSS-OCTシステムです。この波長帯は、散乱体でも光が深達しやすく、散乱の強い対象物の測定に適します。また、測定の繰り返し精度が高く、コストも低く抑えられることから、インライン測定でも多く使われています。

主要用途

Wafer
Silicon
カーソルを置くとデータイメージが出ます。
シリコンウェハー検査

  • ウエハー厚さ、形状計測

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動画

SS-OCTアプリケーション

1 minute watch
動画

IVS-2000 ST System セットアップ方法

4 minute watch

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